Вакуумный универсальный пост ВН 2000 предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Область применения
Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники.
Функциональность
Магнитораспыляющая система поста ВН 2000 обеспечивает:
- универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- получение особо чистых пленок;
- высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
- низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
- высокую энергетическую эффективность процесса;
- использование для осаждения и травления широкого класса материалов.
Эксплуатация
Прибор предназначен для эксплуатации в стационарных лабораторных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25oС и относительной влажности не более 80%. Наличие в помещении агрессивных паров недопустимо.
Характеристики
| Параметры | Значения |
| Остаточное давление в высоковакуумном объеме при охлаждении ловушки жидким азотом | 1,3 ? 10-4 Pa |
| Остаточное давление в высоковакуумном объеме при охлаждении ловушки водой | 1,3 ? 10-3 Ра |
| Ток накала испарителей | 200 А |
| Температура столика для нагрева объектов | 1100oС |
| Температура столика для охлаждения объектов, oС | минус 160 |
| Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя | 7 кВ |
| Максимальный ток тлеющего разряда | 47 мА |
| Максимальное напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя источника питания магнетрона, кV | не менее 0,9 |
| Максимальный ток магнетрона, mА | не более 300 |
| Температура в районе подложки устройства для осаждения пленок | не менее 300oС |
| Время нагрева | не более 30 min |
| Время смены подложек не более 7 s , скорость вращения подложек | не менее 0,5 s -1 |
|
Диаметр мишени, мм |
40 |
|
Максимальный диаметр подложки, мм |
70 |
|
Питание магнетрона: максимальный ток, мА |
350 |
|
Напряжение высоковольтного выпрямителя, кВ |
1 |
|
Масса прибора, кг |
300 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: длина |
540 |
|
ширина |
910 |
|
высота |
1550 |
|
Потребляемая мощность без приставок, кВА, не более |
1,9 |
|
Максимальная потребляемая мощность, кВА, не более |
5 |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
