Универсальный вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.
Исполнение
Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.
В электрической стойке расположены:
- блок распределительный;
- блок питания высоковольтный;
- блок питания магнетрона RF;
- блок питания магнетрона DC;
- блок управления;
- блок питания турбомолекулярного насоса;
- ноутбук.
В аналитической стойке расположены:
- вакуумная система;
- рабочий объем;
- внутри камерная оснастка;
- турбомолекулярный насос;
- система напуска газа в рабочий объем;
- система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.
Вакуумная система ВН-3000 работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора. В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:
- механизм поворота;
- осветитель;
- устройство ионного травления/очистки (анод);
- устройство осаждения и нагрева;
- электронно-лучевой испаритель;
- магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).
Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.
Область применения
Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.
|
Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па |
2х10^-3 |
|
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C |
300 |
|
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин |
30 |
|
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин |
5-15 |
|
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ |
0-4 |
|
Максимальный ток пучка, мА |
200 |
|
Максимальный ток блока питания накала катода, А |
20 |
|
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт |
0-500 |
|
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ |
1,2 |
|
Ток блока питания магнетрона DC, мА |
0-1000 |
|
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА |
100 |
|
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па |
6х10-3 |
|
Время откачки рабочего давления, мин |
45 |
|
Индикация давления в рабочем объеме, Па |
от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4 |
|
Диаметр мишени, мм |
42-104 |
|
Габариты стойки аналитической, мм |
900х610х1620 |
|
Габариты стойки электрической, мм |
600х600х2160 |
|
Масса, кг |
420 |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
