Вакуумный прибор для напыления ВНП-350.01, ВНП-350.02 обеспечивают:
- напыление плазменно-дуговым способом позволяет наносить однослойные и многослойные покрытия из чистых металлов и их соединений на токопроводящие материалы;
- напыление магнетронным способом позволяет наносить покрытия на изделия из металла, керамики, фарфора, стекла, пластмассы.
Исполнение
Приборы ВНП-350.01, ВНП-350.02 состоят из:
- стойки вакуумной;
- стойки управления;
- стойки питания.
Приборы позволяют наносить покрытия на изделия, максимальные размеры которых d=250mm, h=150mm. Откачка рабочего объема производится паромасляным насосом dy 160 (возможно подключение турбомолекулярного насоса).
Система газоподачи обеспечивает поддержание давления в камере на заданном уровне. Система питания магнетрона позволяет стабилизировать ток на заданном уровне.
Область применения
- микроэлектроника, электротехника: процессы металлизации;
- машиностроение: получение износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, деталях машин и т. п.;
- промышленность: нанесение декоративных покрытий на металлоизделия, изделия из фарфора, стекла;
- оптика: нанесение оптических покрытий;
- медицина: нанесение защитных покрытий на инструменты и зубные протезы.
Характеристики
|
|
ВНП-350.01 |
ВНП-350.02 |
|
Внутренние размеры рабочей камеры, мм |
350х350х350 |
350х350х350 |
|
Остаточное давление в рабочей камере, Ра |
1,3х10-3 |
1,3х10-3 |
|
Время получения рабочего вакуума (5,6?10-3 Ра), мин, не более |
20 |
20 |
|
Количество магнетронов, шт. |
3 |
|
|
Диаметр мишени, мм |
84 |
|
|
Количество плазменно-дуговых испарителей, шт. |
|
2 |
|
Ток дуги, А |
|
70 ... 150 |
|
Напряжение подложки, В |
|
1500 |
|
Потребляемая мощность, ВА, не более |
|
20 |
|
Занимаемая прибором площадь, мм |
|
1800х2000 |
|
Масса, кг |
|
800 |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
