Вакуумная система ВС-1Л

Вакуумная система ВС-1Л предназначена для откачки, обезгаживания и термостатирования вакуумной камеры, откачки и напуска газовой пробы в масс-спектрометр, контроль отходящих газов и влаги микросхем в вакуумной среде методом масс-спектрометрического анализа.

Устройство и работа

Рабочий объем в составе:

• вакуумная камера (объем не более 1 л, материал - нержавеющая сталь; максимальный вакуум не более 4x106 Ра);
  • система прогрева и термостатирования с датчиками температуры (температура прогрева камеры не менее + 125°С, термостатируемая температура +25°С ± 3°С);
  • датчики контроля вакуума (форвакуумные - ПМТ-6-ЗМ; высоковакуумные - ПММ-32-1 и ПМИ-2);
• иллюминатор с внешней подсветкой;
• механизм сверления микросхемы;