Вакуумная система ВС-1Л предназначена для откачки, обезгаживания и термостатирования вакуумной камеры, откачки и напуска газовой пробы в масс-спектрометр, контроль отходящих газов и влаги микросхем в вакуумной среде методом масс-спектрометрического анализа.
Устройство и работа
Рабочий объем в составе:
- вакуумная камера (объем не более 1 л, материал - нержавеющая сталь; максимальный вакуум не более 4x106 Ра);
- система прогрева и термостатирования с датчиками температуры (температура прогрева камеры не менее + 125°С, термостатируемая температура +25°С ± 3°С);
- датчики контроля вакуума (форвакуумные - ПМТ-6-ЗМ; высоковакуумные - ПММ-32-1 и ПМИ-2);
- иллюминатор с внешней подсветкой;
- механизм сверления микросхемы;
Характеристики
|
Объём вакуумной камеры |
1 л |
|
Материал изготовления камеры |
Качественная нержавеющая сталь |
|
Достигаемая степень вакуума |
4?10 -6 Па |
|
Датчики вакуума |
ПМТ-6-ЗМ, ПММ-32-1, ПМИ-2 |
|
Температура нагрева камеры |
+125 ?С |
|
Напряжение питания термостата |
220 В,50 Гц |
|
Масса |
380 кг |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
