Установка вакуумного напыления ВН-2000 (-08) предназначена для получения вакуума в рабочем объеме, нанесения пленок в вакууме из проводящих, полупроводниковых и диэлектрических материалов методом магнетронного, резистивного и электронно - лучевогого распыления, а также для травления материалов в плазме (в зависимости от комплекта поставки).
Область применения
Установка может быть применена для исследования в области физики, химии, биологии, медицине, материаловедении, микроэлектроники и других отраслях, а также отработки отдельных технологических операций по напылению.
Эксплуатация
Установки ВН-2000 (-08) могут эксплуатироваться:
- при температуре окружающего воздуха от 10 °С до 35 °С,
- относительной влажности не более 80 %,
- атмосферном давлении от 84 кПа до 106,7 кПа.
Конструкция
Установка выполнена в виде двух стоек - электрической и вакуумной. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными кабелями.
В электрической стойке размещены:
- блок распределительный;
- блок питания высоковольтный;
- блок трансформаторов;
- блок управления;
- пульт управления;
- блок питания турбомолекулярного насоса БПТ-1000.
В вакуумной стойке расположена вакуумная система. Кроме вакуумной системы в данной стойке расположены:
- рабочий объем
- система напуска газа в рабочий объем;
- система водяного охлаждения турбомолекулярного насоса.
В рабочий объем устанавливаются устройство для термического испарения и устройство осаждения пленок.
Автоматическая система управления вакуумной частью ВН-2000 (-08), возможность визуального контроля электрических параметров блоков на цифровом табло, новая элементная база и возможность использования большего числа дополнительных аксессуаров позволяет значительно облегчить работу пользователя и расширить функциональные возможности установки.
Характеристики
|
Установка обеспечивает предельное остаточное давление, Па |
5х10^-4 |
|
Нагреватель в устройстве напыления обеспечивает температуру, не менее, °C |
300 |
|
Время нагрева, не более, мин |
30 |
|
Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя (без нагрузки), кВ |
0,5-4 |
|
Предельное отклонение верхнего значения, кВ |
0,3 |
|
Напряжение блока питания магнетрона постоянного тока (без нагрузки), не более, кВ |
1 |
|
Максимальный ток блока питания магнетрона постоянного тока, мА |
300 |
|
Максимальный ионный ток устройства ионного травления, мА |
100 |
|
Установка обеспечивает откачку рабочей камеры с атмосферного давления до давления 2х10^-3 Па за время, не более, мин |
15 |
|
Ток пучка электронного испарителя, мА |
0-200 |
|
Ток накала электронно-лучевого испарителя, А |
2-10 |
|
Ток источника резистивного испарителя 1, А |
5-200 |
|
Ток источника резистивного испарителя 2, А |
3-50 |
|
Габариты стойки аналитической, мм |
470х540х1600 |
|
Габариты стойки электрической, мм |
610х630х1670 |
|
Масса установки, кг |
350 |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
