Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000
Товар сертифицирован
Код товара: 22054
Обозначение: РЭММА-2000
Гарантия и сервис
Связаться с нашим менеджером и сообщить о неисправности
Нашли дешевле?
Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 предназначен для решения широкого круга проблем в таких областях науки и техники как материаловедение, электроника, геология, медицина и др.
Конструкция
Растровый электронный микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 состоит из следующих блоков и систем:
- электронно-оптическая и вакуумная системы,
- видеоконтрольное устройство (ВКУ),
- система рентгеновского микроанализа,
- контрольные образцы.
Устройство и работа
Высокие технические характеристики в растровом режиме и режиме микроанализа позволяют быстро и качественно исследовать топографию поверхности твердого тела с одновременным определением качественного и количественного элементного состава методом рентгеноспектрального анализа.
Рентгеноспектральный анализ не имеет себе равных по локальности (1 ч), чувствительности (10 - 100 ppm) и скорости проведения среди неразрушающих методов анализа для массивных и тонкопленочных образцов.
Прогнозирование прочностных и эксплуатационных характеристик металлов и сплавов, определение связи между свойствами вещества и особенностями его состава, изучение кристаллической структуры, различных дефектов не только в металлах, но и биологических объектах. Вот неполный круг задач решаемых с помощью микроанализаторов.
Электронный микроскоп РЭММА-2000 объединяет функции растрового электронного микроскопа высокого разрешения и рентгеновского микроанализатора и используется для исследования топографии поверхности различных объектов в твёрдой фазе и проведения рентгеноспектрального анализа элементного состава вещества по длинам волн и энергиям квантов характеристического рентгеновского излучения.
Характеристики
|
Образец |
Элемент |
Спектр. линия |
Пор. отр. |
Кристалл-анализ. |
Ускор. напр., кВ |
Прив. интенс. имп/с×мА |
Контрастность |
|
C |
C |
Ka |
1 |
PbSt |
10 |
2.5 × 104 |
30 |
|
Al |
Al |
Ka |
1 |
RAP |
20 |
8 × 105 |
600 |
|
Ti |
Ti |
Ka |
1 |
PET |
30 |
2.8 × 106 |
600 |
|
Fe |
Fe |
Ka |
1 |
LiF |
30 |
8 × 105 |
300 |
|
SiO2 |
O |
Ka |
1 |
MIR-030 |
10 |
5.5 × 104 |
30 |
|
BN |
N |
Ka |
1 |
MIR-040 |
10 |
1.1 × 104 |
10 |
|
C |
C |
Ka |
1 |
MIR-060 |
10 |
4.2 × 105 |
40 |
|
B13C2 |
B |
Ka |
1 |
MIR-090 |
10 |
6.1 × 104 |
30 |
|
Be |
Be |
Ka |
1 |
MIR-090 |
10 |
1.0 × 104 |
30 |
- Разрешающая способность кристалл-дифракционного спектрометра на линии Cu Ka, не более 5,5 × 10-3
- Разрешающая способность системы энергодисперсионного рентгеновского микроанализа на линии Mn Ka, эВ, не более 143
- Диапазон анализируемых элементов спектрометром энергетической дисперсии от бора(5) до урана(92)
- Давление в колонне микроскопа, мПа, не более 1,33
- Время откачки микроскопа от атмосферного давления до давления 6,7мПа, мин., не более 30
- Время шлюзования объекта, мин, не более 5
Функциональные возможности и режимы работы ВКУ:
- развертка электронного зонда по большому и малому полям, с возможностью установки зонда в отмеченную маркером на изображении точку;
- вращение и электронное перемещение растра;
- деление экрана;
- отображение символьной информации об ускоряющем напряжении, увеличении, масштабной метке и ее длине, рабочем отрезке;
- электронная индикация линейных размеров объектов;
- обработка изображения дифференцированием, γ-коррекцией.
- Сохранение увеличения изображения: при изменении ускоряющего напряжения от 5 до 30 кВ; при изменении рабочего расстояния от 8 до 50 мм.
Универсальный механизм перемещения объектов обеспечивает:
- установку образца максимальным диаметром не менее 100 мм;
- перемещение образца по координатам X, Y на ± 50мм с шагом не более 0,5 мкм;
- перемещение по координате Z на 40 мм с шагом не более 2 мкм;
- вращение образца на 360o;
- наклон платформы от минус 20o до 48o;
- точность позиционирования по координатам X, Y ± 1 мкм.
- Требования к электропитанию: трехфазное напряжение (200 ± 22) В; частота питающей сети (50 ± 1) Гц;
- Потребляемая мощность, кВА, не более 3,5
- Габаритные размеры, мм, не более: каркас с колонной и вакуумной системой 970×770×1735; устройство видеоконтрольное 800×1400×780; блок питания 500×560×750; система откачки (форнасос) 555×170×290
- Общая масса микроскопа, кг, не более 1300
Параметры систем для эксплуатации микроскопа:
- индивидуальный контур заземления с сопротивлением, Ом, не более 4;
- расход воды, л/мин, 3,5; давление воды в сети, кг/см2, 3-5
- температура воды, oС 20 ± 5
- число штуцеров для подвода воды 2
- число штуцеров для слива воды 2
- число штуцеров для выхлопа воздуха с форнасосов 2
Требования к помещению для установки микроскопа:
- площадь помещения, м2, не менее 20
- температура воздуха в помещении, °С, 20 ± 5
- относительная влажность, %, 50 - 80
- уровень электромагнитного поля в диапазоне частот 50-400 Гц на расстоянии 5 см от колонны, мкТ, не более 0,3
- уровень вибраций пола в диапазоне частот 5-20 Гц, мкм, не более 5
- ширина входной двери, мм, не менее 1200
