Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.
Функциональность
Магнитораспыляющая система обеспечивает:
- универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- получение особо чистых пленок;
- высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
- низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
- высокую энергетическую эффективность процесса;
- использование для осаждения и травления широкого класса материалов.
Характеристики
|
Габаритные размеры магнетрона: |
|
|
диаметр |
180 мм |
|
высота |
80 мм |
|
Габаритные размеры блока питания: |
|
|
длина |
465 мм |
|
ширина |
540 мм |
|
высота |
220 мм |
Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Dy 170 для установки магнетрона. Напыление осуществляется сверху вниз.
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
