Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ используется для контроля за толщиной напыляемых в вакууме многослойных пленочных структур. Прибор может применяться как для автономной работы, так и для работы в составе с АСУ.
Устройство и работа
В автономном режиме используется алгоритм, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, при этом прибор принимает сигналы от встроенной клавиатуры, а также внешний сигнал запуска и вырабатывает сигнал останова. В составе АСУ прибор высылает данные ведущему процессору по последовательному интерфейсу.
В зависимости от условий применения прибор может комплектоваться магнитной защитой датчика (для работы с магнетронными системами распыления), а также системой охлаждения датчика. Наличие охлаждаемого датчика позволяет применять прибор при напылении тонкопленочных покрытий с нагревом.
Характеристики
| Параметры | Значения |
| Разрешающая способность по частоте | 1 Гц |
| Диапазон измеряемых частот | 4–10 МГц |
| Период измерения | 1 с |
| Разрешающая способность по толщине на Ta2O5 | 0,1 нм |
| Количество материалов | 10 |
| Диапазон плотности материала | 0,1–9,99 г/см3 |
| Количество слоев | 10 |
| Диапазон толщины материала | 0,1 – 999,9 нм |
| Количество пленок | 3 |
| Интерфейс связи с внешними устройствами | RS 232 |
| Сигнал внешнего запуска | 3,5 – 12 В |
| Изоляция по сигнальным шинам | 2500 В |
| Потребляемая мощность | 6 Вт (220В, 25мА) |
| Диапазон рабочих температур | 0…50° С |
| Относительная влажность при температуре 20° С | не более 85% |
| Габаритные размеры | 110 х 135 х 230 |
| Интерфейс | RS 232 |
Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.
Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
