Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050
Товар сертифицирован
Код товара: 22024
Обозначение: ИЛТ-050
Гарантия и сервис
Связаться с нашим менеджером и сообщить о неисправности
Нашли дешевле?
Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).
Эксплуатация
Приставка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях:
- при температуре окружающего воздуха от 15 до 25ºС?
- относительной влажности не более 80 %.
Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.
Область применения
Приставка ИЛТ-050 может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.
Характеристики
| Параметры | Значения |
| Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки | от 6,0×10-5 до 8×10-4 мм. рт. ст |
| Электрическое питание приставки осуществляется | от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц |
| Потребляемая мощность | не более 600 Вт |
| Масса | 60 кг |
| Внутренний объем высоковакуумного объема приставки | 12 л |
| Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода | не более 8 кВ |
| Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания фокусирующего | не более 8 кВ |
| Напряжение блока питания разряда | не менее 800В |
| Разрядный ток ионных пушек | 50 ± 3 мА |
| Ионный ток на образце | от 30 до 600 мкА |
|
|
Габаритные размеры, мм, не более: |
|
|
рабочий объем |
внутренний диаметр |
230 |
|
модуль источников питания |
длина |
500 |
